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产品介绍：iH系列干式泵符合国际公认的半导体行业标准SEMIS2(国际半导体设备和材料）、ETL(能源技术实验室)，符合UL标准3101-1和CE标准(欧洲共同体标准)现场实践经验证明 Edwards先进的半导体真空泵达到高运行标准。通过延长使用寿命、改进持续运行时间、提高生产率、使其拥有了高可靠性能。同时又具有占地面积小，低拥有成本的优点。
iH系列为苛刻的工艺提供极高可靠性，例如存在颗粒、可凝性和腐蚀性副产品的PECVD和LPCVD工艺。iH干式泵的大抽速范围为80至1800立方米/小时。iH1800干式泵是为高排气量应用特别设计的。
