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产品名称:分子泵
产品类型:半磁浮分子泵;机械轴承分子泵;磁悬浮分子泵;
莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空,具有操作简单,可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后,可以实现低于10-10mbar (0.75 x 10-10 Torr)的压力。
莱宝真空是世界上涡轮分子泵领导品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功应用于许多场合。在“概述”一节“应用”表格中,列出了重要的应用领域。
工作原理:涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮,快速旋转的叶片将动量传输给气体分子,将最初无方向性的热运动变成有定向运动。涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。在分子流范围——也就是在低于10-3 mbar(0.75 x 10-3 Torr)的压强时,气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距(典型为十分之零点几毫米),分子主要与转子叶片碰撞,所以抽气过程非常高效。在粘滞流范围,也就是压强超过10-1 mbar(0.75 x 10-1 Torr),情况则完全不同,分子间的频繁碰撞降低了转子的效率。因此,涡轮分子泵无法在大气压下工作,需要适当抽速的前级真空泵。为了使气体分子产生定向运动,转子叶片的末端的线速度必须足够大。所以,转子也要有相应的高转速。