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干式真空泵使工作容积中无油，因此带来了不少益处。首先，它增强了泵的可靠性。干式真空泵不像油密封泵那样受到水蒸气或者尘粒的影响，因此它们更耐用，所需的维护工作更少。减少用油量还意味着减少了认真处理油而花费的成本。使用干式真空泵还使可能的污染减到小程度，这种污染既可能出现在油里——影响了泵的性能，也可能出现在某些极端的情况。
干式真空泵已经在半导体生产行业中成功地运用了多年，并且在多种行业里变得越来越普遍。干式泵已经做好更加充分的准备来迎接来自于越来越多的工业应用领域的挑战，传统的油密封技术曾经在这些应用领域中占了主导地位。
它们的应用日益增加的原因很清楚，因为它们可靠、耐磨、易于维护，给结果带来重大的好处。例如在恶劣的环境中所用的一台油密封真空泵每年的维护费用大约是一台新泵成本的40％。
干式泵使正常工作时间更长，并且由于它们具有可重复性，所以使生产的产量更高，节约了成本。该技术不仅安全，而且它的设计使其即使在颇为苛刻的工作环境中也能够无故障的工作。
通过真空室所需要建立的极限压力确定真空泵系统主泵的种类，通常主泵极限压力的选择要比真空泵室的极限压力低1半到1个数量级。通过真空室进行工艺成产时所须要的工作压力来选真空泵系统主泵，应该正确地选择主泵的静态工作点，在它的工作压力界限，要能排除真空泵室内工艺过程间所造成的全部气体量。所以，真空泵室内的工作压力一定要在主泵的较佳抽速压力范围以内、
根据真空室的容积大小和要求的抽真空时间来选真空泵系统主泵，真空室容积的大小对真空系统所要抽到极限真空度的时间长度有所影响。当抽气的时间段要求必须时，假如真空室容积越大，那么主泵抽速也越大。
正确地组成真空泵系统，由于干式真空泵有选择性地抽真空，因此有时采用一种泵不能满足抽气要求，需要几类泵组成起来，相互之间补充才能符合抽气要求。若真空系统严格要求无油时，则应当选各种无油泵作真空泵系统主泵，要是要求不严格，那么可以选择油泵，之后再加一些防油污染的策略，可以加挡油阱、障板、冷阱等，也可以达到清洁真空的标准。
选择真空泵时，应当知道被抽气体成份，针对被抽气体成份选择相对的真空系统主泵，如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应当考虑到选取干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管道上安裝辅助设备。根据全套真空泵系统的一次投资和日常维护费等经济指标选取真空泵系统主泵。
