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干式真空泵的应用范围及高温故障处理

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干式真空泵的应用范围及高温故障处理

2021-11-02

   干式真空泵在许多使用场合达到了理想的运用作用,作业容积中无油,更加经用,可靠。

  1、用于低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

  2、干式真空泵用于半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

  3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不期望微粒混入泵油中,而期望微粒排出泵外,则用必定型式的干式真空泵能够满足要求;

  4、干式真空泵适用于化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等,防止了有机溶剂造成污染;

  5、用做一般无油清洁真空体系的前级泵,以防止油污染。

  干式真空泵在使用中维护少,更加省时省力,一起也减少了污染的危害。

干式真空泵厂家.jpg

  干式真空泵温度高一直是困扰用户的大问题,处理这个问题首先要了解导致这种问题出现的原因是什么,进行总结然后做出技术处理。

  一、原因

  ①电扇转速低,风压,风量小。电机功率大,作业电流大,发热量大

  ②电扇叶片数较少,产生的风量小。

  ③真空泵电机地址母线电压380V,因为电缆压降及负荷分配不均,电机实践所加电压只需365V,电压偏低造成工作电流大。

  ④电动机附有尘土、油污,降低了散热才干。

  二、处理方法

  电机功率、转速是和真空泵相匹配的,不能更改。电扇装置于电机主轴上,电机转速决议了电扇转速,也不可更换。增加电扇叶片数量虽能起到必定作用,但叶片数量增加后,动平衡不容易找,如找正欠好,会引起电机振动增加。

  将原电扇罩加长40cm,在里面加装一个与电扇罩同直径轴流风机,轴流风机电机功率850W,转速1489r/min,电压380V。原电扇继续保留。轴流风机服装学校另设一路电源操控,轴流风机与主电机不设连锁。真空泵发动后及时发动轴流风机工作,真空泵停运后30min停运轴流风机,以使主电机得到充分冷却;定时根除电机上尘土,坚持电机散热片清洁,增加其散热才干;将干式真空泵地址母线电压调整为400V。

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