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干式真空泵在许多使用场合达到了理想的运用作用，作业容积中无油，更加经用，可靠。
1、用于低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2、干式真空泵用于半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不期望微粒混入泵油中，而期望微粒排出泵外，则用必定型式的干式真空泵能够满足要求；
4、干式真空泵适用于化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等，防止了有机溶剂造成污染；
5、用做一般无油清洁真空体系的前级泵，以防止油污染。
干式真空泵在使用中维护少，更加省时省力，一起也减少了污染的危害。
干式真空泵温度高一直是困扰用户的大问题，处理这个问题首先要了解导致这种问题出现的原因是什么，进行总结然后做出技术处理。
一、原因
①电扇转速低，风压，风量小。电机功率大，作业电流大，发热量大
②电扇叶片数较少，产生的风量小。
③真空泵电机地址母线电压380V，因为电缆压降及负荷分配不均，电机实践所加电压只需365V，电压偏低造成工作电流大。
④电动机附有尘土、油污，降低了散热才干。
二、处理方法
电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。电扇装置于电机主轴上，电机转速决议了电扇转速，也不可更换。增加电扇叶片数量虽能起到必定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正欠好，会引起电机振动增加。
将原电扇罩加长40cm，在里面加装一个与电扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原电扇继续保留。轴流风机服装学校另设一路电源操控，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵发动后及时发动轴流风机工作，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却；定时根除电机上尘土，坚持电机散热片清洁，增加其散热才干；将干式真空泵地址母线电压调整为400V。
