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WAU/WSU/WHU罗茨真空泵

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WAU/WSU/WHU罗茨真空泵

产品属性

  • 所属分类:罗茨真空泵
  • 产品编号:1572572660
  • 浏览次数:0
  • 发布日期:2019-12-14
  • 产品概述
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  • 技术参数

产品名称莱宝罗茨真空泵

产品介绍罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备,广泛应用于各类真空应用。与前级泵配合组成罗茨机组。

产品特点

-降低极限压强

按一般经验,配置罗茨真空泵后系统极限压强降低至原来的1/10。两级罗茨和相应前级泵组合其极限压强可达到10-5mbar(0.75 x 10-5Torr)量级,某些情况下无需再另配高真空泵(涡轮分子泵,或扩散泵)。

-增大抽速

由于转子是非接触转动,罗茨真空泵可高速运转,几何尺寸小的泵也能达到非常高的抽速,在中低真空范围单泵超过1500m3/h (589 cfm)的抽速,只有罗茨真空泵才能达到。

选择合适的前级泵和罗茨泵组合,即便是小抽速的前级泵也可实现抽除大量气体。与相同抽速的单一前级泵相比,能耗大大降低。

在真空技术领域内罗茨真空泵的应用还得到进一步的专业化发展:

- 集成旁通管(压力均衡管线)的设计,实现了在高压强段对罗茨泵抽速的利用,这样可以缩短抽空时间,特别适用于周期性的工艺(见“有/无旁通的抽速曲线对比图)

- 高纯气体或危险气体对系统的气密性要求严格。配置罐装电机的WS罗茨泵系列或全密封电机的WH罗茨泵系列都是完全密封的结构,系统没有动密封,避免了漏气和漏油的问题,无故障运行时间超过20,000小时。

-  转子准确的动平衡,结合强制润滑的轴承和齿轮,允许罗茨泵高转速运行,可以通过配置变频器改变转速。在工艺过程中提高转速实现高抽速,在工艺停止或工艺间隔期可降低转速,这种操作可降低能耗和延长罗茨泵的使用寿命,而可靠性不受影响。

-  垂直气流转为水平气流的操作可在泵的安装地轻松执行,非常适合系统操作条件的不同要求。

罗茨泵还有个特点即罗茨泵的泵腔内无油,该特点为罗茨泵带来了如下优势:

-  抽送介质不受润滑油或密封剂污染;不需复杂辅助配件(排气过滤器、分离器等);

-  齿轮箱内润滑油不受被抽介质影响,不会因此缩短使用寿命;

-  防止前级泵向所连真空室的油气返流罗茨真空泵的上述特点使其非常适合粗真空和中真空范围的各种应用。

半导体工业(RUVAC WH 和WS)

罗茨泵广泛应用于半导体技术领域内,以刻蚀工艺为例(与前级干泵配合使用):

系统抽速在200至500m3/h(118-295 cfm)之间,保证涡轮分子泵达到切入压强10-1mbar(0.75 x 10-1Torr)。

由于工艺需要抽腐蚀性气体和大量工艺颗粒,需用全密封类型的产品。齿轮箱内使用抗腐蚀性能强、使用周期长、可靠性高的LVO 400润滑油,因此泵的运行成本很低。

洁净间内使用时,罗茨真空泵配水冷电机,不用电机风扇。
这种形式的电机可将散入环境中的热量减至更低。

已开发出各种各样的泵型,以适应各种应用要求。

- 法兰安装电机

泵的驱动轴用联轴器直接与电机相连,驱动轴的密封采用油润滑轴封。

- 罐装电机

罐装电机中的转子和定子是用非磁性材料制成的气密式密闭罐加以隔离。固定在泵驱动轴上的转子在真空中运行,没有动密封。

- 全密封式电机

全密封式电机的罗茨真空泵是莱宝新研发出来的技术产品。将整个电机置于真空中运行,与标准法兰安装电机的效率相同,但不需要轴封。全密封式电机是应用于罗茨泵的紧凑、效率高、更可靠的电机技术。

-旁通设计

旁通管将排放法兰与进气法兰相连,中间设差压阀。若压差过高,阀门打开,一部分泵送气体通过旁通管回到进气口。

因此,带旁通设计的罗茨泵可以实现与前级泵同时在大气压条件下开启。这样,在高吸入压强条件下也能提高泵组抽速。

- 专用ACE减振器

为了适合短节拍的工艺条件,莱宝真空开发了带减振器的旁通设计(H版)。

RUVAC WA/WAU, WS/WSU

WA/WAU系列罗茨真空泵配有直接法兰安装空冷标准三相电机。RUVAC WA/WAU系列泵采用径向油封环,用以将轴与大气密封隔离,材料为FPM (FKM)(氟橡胶)。

WS/WSU系列泵配空冷密封式罐装电机。

WAU/WSU/WHU系列罗茨真空泵配置集成式旁通系统。

RUVAC WH/WHU

WH/WHU系列泵是罗茨真空泵领域内技术先进的产品。

电机和油池均为水冷,能完美地平衡泵体内部温度,能使油温很低,保证润滑油使用寿命周期长。在极限压强运行条件下,热释放降低近50%,电机线圈能维持较高负荷,同时保证效率提高。

上述新的驱动理念用“灌封式”集成电机替代了罐装电机所用之密封罐,更进一步提高了效率,电机符合IE2所定关于新效率标准要求而没有任何问题。为了提高泵抽速,减少抽空时间,可选装经特别参数设定的变频器。另外,在大气压下,该型泵就能在其更大功率条件下工作。

特别针对短周期运行的,新型WHU系列罗茨泵采用了新的旁通阀门技术。由于旁通管线的作用,泵能在大气压条件下启动。旁通阀提早关闭,可以大大地缩短抽空节拍。WHU系列泵不能在高压条件下长时间运行。

RUVAC WS和RUVAC WH系列泵配用变频器

旁通系统模拟泵配备了相应变频器后,可排除机械过载的可能性。若压差过高,会自动降低泵的旋转速度,直到泵负荷降到允许范围内。

根据需求调节转速操作期间可以用变频器调节罗茨泵的抽速。在任何应用中都可以有更大操作弹性,以能找到正确设定值。

提高泵抽速根据泵大小不同,泵的运转速度可达4200rpm至7200rpm。通过使用变频器使泵的额定抽速增加了140%。

注: 请咨询莱宝可能存在的使用限制条件( 工艺限制)。


工作原理:罗茨真空泵的泵壳内有两个对称布置的叶轮以相反方向旋转。“8”字转子用齿轮同步,确保叶轮相互逆向旋转,旋转时叶轮相互间隔很近,离机壳也很近,但又实际上相互不接触。在转子I位和II位(见“罗茨泵运行原理图”),吸入容量增加。转子继续转到III位时,一部分容量与进气口的相通被切断。

至IV位时,该容量空间与排气口相通,处于前级真空压强下的气体(比吸入压强高)流入。此流入气体对进气口抽过来的气体产生压缩,随着转子继续转动,压缩气体通过排气法兰排出。每个转子转完一满圈,上述动作重复两次。由于转子与泵壳不接触,罗茨真空泵的转速可以达到很高的速度。相对较小的泵也能达到很高的抽速。


产品运用: 半导体工业;真空镀膜;科研;化学/制药;冶金/工业炉;照明行业;包装;中央真空系统;冷冻干燥;检漏系统;电气工程;高纯气体/ 氦气减压降温循环系统;机械工程;汽车工业。

罗茨真空泵RUVAC系列


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