超高真空可调式插板阀

此系列阀门为带步进电机的控制插板阀，具有精度高、使用可靠、寿命长等优点，能广泛应用于需要调节阀门的开启度来控制流量的超 高真空设备中。阀门分别以步进电机传动力矩为动力，通过传动杆推(拉)动连杆机构，带着驱动体沿轴向运动，驱动体通过摆杆或钢珠与阀板连接，完成阀板开启及关闭动作。阀门作为一个节流元件动作，驱动由驱动器，步进电机和控制器来完成，其中控制器提供一个位置控制模式它允许控制阀以选定速度在开和关的任意位置，而电源控制也可手动调节，电源控制时，为脉冲信号控制，速度快，定位准。阀门工作介质为空气及非腐蚀性气体。

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