此系列阀门为气动驱动方式,具有平稳、冲击振动小、使用可靠、密封性能好喝寿命长等优点,是半导体行业中真空设备自动化常用阀门,是以压缩空气推动气缸为动力,通过传动杆推(拉)动连杆机构,带着驱动体沿轴向运动,驱动体通过摆杆与阀板连接并带动阀板开启及关闭动作。阀门工作介质为空气及非腐蚀性气体。
GCQ-型高真空插板阀系列
袖珍型超高真空插板阀
超高真空插板阀