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干式真空泵的应用范围及高温故障处理
2021-11-02
干式真空泵在许多使用场合达到了理想的运用作用,作业容积中无油,更加经用,可靠。 1、用于低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中; 2、干式真空泵用于半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒; 3
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