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真空泵的吸入管前应安装止回阀，以防止停车时水或其他液体被甩到吸入管中。应在环式真空泵的吸入管前安装止回阀，以防止停车时水或其他液体被甩到吸入管中。吸气管不应分布在蒸汽管或其他较热的地方，否则会使吸气温度升高，从而降低气量和真空度。
真空泵是主要的真空设备，分为：容积式真空泵(如液环泵、螺杆泵、罗茨泵等。)根据产生真空的原理；动量传递真空泵(如分子泵：喷射真空泵3360扩散泵均属于此类)；气体阱真空泵(如钛升华泵、锆铝合金吸气剂泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等。).
真空泵运行时产生的振动对工艺和环境有影响吗？如果工艺不允许，应选择无振动泵或采取防振措施。了解泵送气体的成分，气体中是否含有可凝蒸汽、颗粒粉尘、腐蚀性等。在选择真空泵时，你需要了解气体的成分，并为要抽的气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体，应考虑在泵的入口管道上安装辅助设备，如冷凝器和除尘器。在其工作压力下，真空泵应能排出真空设备过程中产生的所有气体。真空泵的正确组合。
真空泵有选择地排气，所以有时一个泵不能满足抽气要求，需要几个泵组合起来互相补充才能满足抽气要求。比如钛升华泵对氢气有很高的抽速，但不能抽氦气，而三极溅射离子泵(或两极不对称阴极溅射离子泵)对氩气有一定的抽速。如果将两种泵组合起来，真空装置将获得更好的真空度。
