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首先会包含进气滤芯。在这方面，它的向上运动在很大程度上将有效地防止固体颗粒及其细灰被吸入真空泵。这样，在很大程度上，它实际上直接减少了机器本身的磨损现象，从而提高了操作本身的可靠性能。在我们延长泵的使用寿命的同时，它其实是一个可以有效保护系统本身的部件。
打开滤芯开口端的塑料袋，检查O型圈是否完好、到位，按照从滤芯外侧流入、从滤芯内侧流出的方法安装流入物；用合适的润湿剂(如水)润湿O型圈和过滤器座的插座，用手握住靠近O型圈的过滤器末端，将过滤器座垂直插入过滤器座的插座中。插入贝克真空泵的过滤器后，取下过滤器包装袋，然后安装金属盖并用工具拧紧过滤器。关闭过滤器的排放口，打开外壳顶部的排气阀，稍微打开入口阀，让材料进入外壳，直到液体从外壳顶部的排气阀溢出，然后关闭排气阀。检查拆卸是否有泄漏，慢慢打开过滤器出口阀，直至完全打开。表示替换完成；移除替换工具和清洁工具。
如果没有特殊要求，等离子清洗机中的大多数真空泵都可以配备旋片泵。这种泵的工作原理是用机械方法将空气抽入真空反应室。当真空度能够满足等离子体放电的要求时，保持工艺气体进入，去除等离子体反应的副产物，以保证等离子体放电的稳定性。真空等离子清洗机的真空系统由真空泵、真空室、真空计、挡板阀、进气管、法兰和其他连接管道组成。
