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DIP扩散泵

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DIP扩散泵

产品属性

  • 所属分类:扩散泵
  • 产品编号:1572573068
  • 浏览次数:0
  • 发布日期:2020-01-18
  • 产品概述
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  • 技术参数

产品名称:扩散泵

产品类型:DIP 泵-水冷型;LEYBOJET 630;LEYBOJET OB 6000-18000

产品特点:降低压强;增大抽速;中央真空系统;抽送介质不受润滑油或密封剂污染;不需复杂辅助配件(排气过滤器、分离器等);齿轮箱内润滑油不受被抽介质影响,不会因此缩短使用寿命。

工作原理:扩散泵的运行倚赖于泵油蒸汽,其主要部件有:- 含有进气口和排气口的冷却泵体- 喷嘴系统- 泵油锅;扩散泵工作时,油锅内泵油被加热至气化,油蒸汽被强迫通过泵内喷嘴系统。喷嘴的特殊设计能将蒸汽加速至大于音速(拉瓦尔喷嘴),于是形成高速蒸汽喷射流,并被喷嘴以特定角度喷向泵体。蒸汽接触冷泵体后,冷凝成液态泵油流回油锅。扩散泵和其它类型的蒸汽流真空泵的抽气能力主要基于蒸汽喷射流对气体的传输能力。被抽气体在排气口被充分压缩后由前级泵抽出。

产品运用:真空镀膜;研发;冶金/真空炉;机械工程;溅射工艺

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