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在其工作压力下，真空泵应能够排出真空设备工艺过程中产生的所有气体。有时候一个泵不能满足抽气要求，需要几个泵相互补充才能满足抽气要求。比如钛升华泵对氢气的抽速很高。
1、真空泵在工作过程中产生的振动是否会影响工艺和环境。如果工艺过程不允许，应选用无振动泵。
2、了解被抽出的气体成分，气体中是否含有凝结蒸汽，是否有颗粒灰尘，是否有腐蚀性等。在选择真空泵时，我们需要知道气体成分，并为被抽出的气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体，应考虑在泵的进气口管道上安装冷凝器、除尘器等辅助设备。
3、在其工作压力下，真空泵应能够排出真空设备工艺过程中产生的所有气体。
4、真空泵的正确组合。由于真空泵有选择性抽气，有时一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵相互补充才能满足抽气要求。比如钛升华泵对氢的抽速很高，但是不能抽氦，而三极溅射离子泵(或者二极非对称阴极溅射离子泵)对氩的抽速会使真空装置得到更好的真空度。此外，有些真空泵在大气压下无法工作，需要预真空;有些真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，所以需要组合泵使用。
5、真空设备对油污染的要求。如果设备对无油有严格的要求，应选择各种无油泵，如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，比如加冷阱、挡板、挡油阱等。，这也可以满足清洁真空的要求。
