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由于干气介质的特殊性，要求真空泵密封保证干气既不能漏出也不能漏入，就目前使用的胀环密封形式而言，很难满足这一要求。在目前的氮气密封措施中，由于氮气的引入，氮气压力始终保持在0.02MPa，而真空泵内的压力在-0.08 MPa至0.02 MPa之间波动，使一部分氮气漏入泵体内与介质混合，不仅消耗氮气，而且影响原料质量。同时油箱中的润滑油随氮气被吸入气腔，增加了润滑油的消耗。泵在运行过程中，注油孔需要密封好，给日常维护带来不便。
真空泵广泛用于工业部门，如灯泡制造、电子管、食品包装和半导体器件制造。真空蒸馏、真空浸渍、离子渗氮、真空干燥、真空渗碳、真空淬火、真空铸造等。在真空条件下，由于气体分子数量少，可以避免气体的有害影响。比如真空热处理可以避免氧化和气体渗入金相组织，从而提高零件质量；在电子器件中保持高真空可以避免电子运动的影响；真空包装保持高真空可以提高食品的保质期。在现代好的科技中，真空技术是不可或缺的手段，如高能加速器、受控热核反应、宇宙模拟等项目都需要高真空或很高真空技术。
真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空单调、真空脱气(钢水处理)等真空设备。对工作压力高、排气量大的低真空泵组有吸引力。根据被抽气体的清洁度、湿度或其他特殊要求，低真空抽气装置的使用还应配备必要的集尘器、单调罐和其他部件。
