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由于干气介质的特殊性，要求真空泵密封保证干气既不能漏出也不能漏入，就目前使用的胀环密封形式而言，很难满足这一要求。在目前的氮气密封措施中，由于氮气的引入，氮气压力始终保持在0.02MPa，而真空泵内的压力在-0.08 MPa至0.02 MPa之间波动，使一部分氮气漏入泵体内与介质混合，不仅消耗氮气，而且影响原料质量。同时油箱中的润滑油随氮气被吸入气腔，增加了润滑油的消耗。泵在运行过程中，注油孔需要密封好，给日常维护带来不便。
油真空泵由油密封、润滑和冷却。这种类型的油真空泵可以接受一点湿气，而无油真空泵由于叶片多为石墨材质，遇到湿气容易膨胀损坏。不过无油真空泵使用起来比较干净，可以用在一些环保要求高的地方。
与相同抽速的无油旋片泵相比，油式真空泵的真空度更高。在油式旋片油式真空泵的连续运行中，由于机械密封和润滑油的双层密封，油式真空泵在抽、压、排气的一系列动作中更加稳定，减少了气体泄漏的几率。
虽然无油真空泵在一定程度上略逊于油基真空泵，但由于不需要油润滑，在一些油敏感行业更容易被客户采用。无油运行可以限制油质对产品的影响，减少油质与产品发生化学反应造成的油质污染，如制药行业、印刷工艺等。
