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真空泵的全拆全修叫大修。对于部分真空泵在采取部分拆卸修复措施后未能排除故障，真空度仍较低，仍有部分泄漏现象。或者有些泵有以下现象之一：如泵“卡死”、油脏、泵内部变脏、生锈或用油不当使真空泵内部零件变成硬壳(硅油进入真空泵时可能出现这种情况)、转子有较大的撞击声、有异物(金属屑、玻璃屑、铜屑等)。)落入泵腔划伤泵腔，摩擦发热导致温度剧烈上升。
真空泵阀板损坏也是常见故障之一。油窗内出现持续气泡，甚至大量翻油、真空度低或真空计指针来回摆动(俗称回气)，多数为阀门故障。
当然，阀门的一些故障不容易一下子发现。比如有一个滑阀真空泵，真空度忽高忽低，像这样的故障很难检查，因为性能不明显，有时是间歇性的。根据真空泵厂家的经验，真空泵腔体变形、局部微泄漏、油封膜意外损坏、阀板缺陷等都可能使真空摆动。因此，先拆下端盖，检查真空泵腔的圆度和锥度、端面配合的公差、偏心轮的平行度等。结果问题不大，在允许范围内。
间歇运行模式主要适用于半自动真空包装机：半自动真空包装机必须手动上下或前后摆动盖子，这决定了真空室的尺寸不宜过大。半自动真空包装机的真空泵工作模式为间歇式，真空泵只有在真空盖关闭时才会运行，其他时间真空泵不工作。这种控制模式的优点是降低功耗和噪音，但缺点是泵的启动总是间歇的。
