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使用真空泵过程中应注意什么

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使用真空泵过程中应注意什么

2021-05-11

  在使用真空泵时应注意这几点


  1.真空泵用于泵送清洁气体,不能泵送有毒、易燃、易爆和腐蚀性气体或蒸汽、化学品、溶剂和粉末等。如易燃气体,含有国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸、强碱气体,或半导体技术中的高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。这些气体容易导致轴承故障。


  2.进气温度必须低于50,否则必须在抽真空腔和泵入口之间增加一个冷阱,温度必须降低到50以下。


  3.泵送含有水蒸气的气体时,打开压载阀进行泵送,泵送气体的水蒸气含量应在23g/天以下。如果超过这个极限,压载阀的寿命将会缩短。


  4.真空泵不能在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽环境中工作,否则会有爆炸、火灾等危险。


  5.不要一个人或两个人移动泵。搬运,的安装、配置、接线、操作、维护和检查应由专业人员进行,否则会有触电、伤害或损坏泵甚至真空室的危险。


  6.不要继续使用损坏的泵,否则会有受伤、触电甚至损坏泵系统的危险。


  7.检查以确保泵安全接地。


  8.在工作过程中或泵刚关闭时,不要触摸泵电机或金属部件(因为工作时非常热,高温度可能达到70)。如果确实需要接触,采取必要的保护措施,防止受伤。


  9.必须安装电机保护开关。


  10.不要划伤进气口和出气口的法兰,以免损坏法兰,引起真空度上升。


  11.在进气口安装一个截止阀。真空泵停止后,进气口的真空度降低,因为出气口的大气回到进气口,而不是真空泵。为了保证真空室的真空度,在真空室和泵之间应该安装一个截止阀。


  12.在排气口连接排气管,防止灰尘进入泵内。


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