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国内真空泵的发展方向是怎样的

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国内真空泵的发展方向是怎样的

2021-04-28

  真空泵是产量大、用途广的产品,但它确实是直接影响真空设备性能和质量的必不可少的基础产品。真空泵的范围从高/超真空到粗/低真空。产品可分为14类:


  高/超真空——低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。


  中真空——干式泵、两级旋叶片泵、罗茨泵、油增压泵、蒸汽喷射泵。


  粗/低真空——单级旋叶片泵、滑阀泵、液环泵、往复真空泵。


  真空泵市场根据用户需求动态变化。市场增长的主要驱动因素是半导体工业的快速发展以及干泵和分子泵的日益应用。


  目前,全球真空泵市场年销售额约为20亿美元,年增长率约为7%。


  国内真空泵厂家很多。所有真空泵的年销售额约为1.5亿元,仅相当于金内真空泵在美国的年销售额。通过分析全球真空泵市场,我们可以看到各种真空泵的市场和应用领域在不断变化和发展。中国真空泵制造业历史悠久,基础雄厚。国产真空泵已经在各个领域得到应用和验证。有些泵还出口国外,得到了国外用户的认可和好评。应该说,秦


  液环泵虽然是一种粗糙的真空泵,但在我国石油、化工、电力、纺织、造纸、医药等领域仍有很大的市场。


  在国外,液环泵的销量占真空泵市场总量的14%,仅次于干式泵。因此,纳什、赛美和金内正在中国投资或建立销售网络,以扩大他们在中国的市场份额。由于液环泵以铸造为主,加工要求低,是劳动密集型产品。因此,国产液环泵在价格上具有竞争优势。关键是改进设计,降低体积、重量、效率和能耗。


  2.滑阀泵


  由于滑阀泵更耐用可靠,国内外各种真空炉、涂布机、干燥和浸渍设备都使用滑阀泵作为前级泵,但滑阀泵铸造重,加工工作量大,所以国外真空工厂正在寻找合作伙伴。为了使国产滑阀进入国际市场,需要进一步降低泵的振动和噪声,防止喷油和漏油,提高滑阀泵的长期运行可靠性。


  3.直联旋转叶片泵


  随着真空技术在各种应用领域的不断扩大,对直联旋片泵的需求也越来越大。由于这些泵数量大,加工装配工作量大,价格低,一些国外真空制造商在中国设立了专门的工厂。直联的国产中小型旋叶泵已通过技术,价格远低于国外泵。所以国产泵还是有竞争优势的。关键是解决轴封油的泄漏问题以及旋转叶片材料和真空泵油的性能和质量问题。确保直联泵在高速、高温下的稳定性和可靠性,进一步提高国产直联旋片泵去除水蒸气的能力。


  4.罗茨泵


  从罗茨泵在国外的生产情况来看,国外的几家大公司,如莱博尔德、巴尔泽斯、阿尔卡特、爱德华兹和ULVAC,他们在罗茨泵的销售额占罗茨泵,全球销售额的5%以上,而这五家公司只占20%。罗茨泵的产量不大,但罗茨泵的价格比中国高得多。目前,国内外几乎所有的大、小高真空和中真空系统都配备了罗茨泵,以缩短抽气时间,提高生产效率。因此,国内罗茨泵必须在占领国内市场的基础上进入国际市场。进一步降低国产罗茨泵,的振动噪音,彻底解决轴封漏油问题,提高泵的外观质量,提高泵的稳定性和清洁度。此外,还需要考虑一些国家和地区的工频为60Hz,在提速的情况下必须保证罗茨泵的长期运行可靠性。


  目前,国内风冷直排大气罗茨泵发展迅速,技术成熟。


  由于泵在排气口下方装有气体冷却器,一部分冷却后的气体通过管道回到泵室对转子进行冷却,使压缩处于热平衡状态,泵可以直接排放到大气中。为了满足不同真空极限的要求,泵可以串联使用。通常,在前面增加一个风冷直接排气大气罗茨泵,终获得的真空比以前的泵高一个数量级。这种类型的泵实际上是干式泵,因为泵室中没有工作介质。目前,风冷在线大气罗茨泵及其机组已经在石油、化工、塑料、农药、涡轮转子动平衡、航天空间模拟等设备上进行了长期运行测试,应予以推广应用。在国内申请。


  5.分子泵


  在国外许多半导体领域,特别是溅射、刻蚀和液晶显示器领域,分子泵被用来代替低温泵。主泵采用复合分子泵泵和牵引泵。


  因为水蒸气的分子泵只有同直径低温泵抽气速度的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽气速度,在分子泵,的入口侧安装了一个-130~-150的低温冷板,称为低温分子泵。水蒸气被低温板捕获,其他气体被分子泵抽走。这种低温分子泵适用于真空镀膜设备,不仅提高了生产效率,而且提高了薄膜质量。随着中国半导体工业、薄膜工业和科研的快速发展,分子泵应该成为中国真空泵制造业的重点。首先,分子泵要从小到大打造一个完整的系列,开发各种复合分子泵,牵引水泵和低温分子泵,满足不同场合的需求。


  6.干式泵


  海外干泵市场持续增长,主要动力来自半导体行业、化工行业、薄膜行业的快速发展。在日本,干式真空泵已经取代了半导体行业的油封机械泵。超过45%的欧美半导体行业用干式真空泵取代了油封机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,有多级罗茨真空泵、多级爪形真空泵、螺旋真空泵、涡旋真空泵、往复活塞式真空泵和涡轮无油真空泵。极限压力为10帕至10-2帕,07 D6为20立方米/小时至500立方米/小时.


  据统计,目前我国干式泵的应用还不到1%。半导体行业的国产干泵都是从国外进口的,很贵。因此,中国应大力研发干式泵,使其成为中国真空行业新的经济增长点。


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