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随着真空泵结垢的开始，泵内循环水的传热环境逐渐被破坏，换热效率会越来越低，结垢速度会越来越快。规模的原因一般包括以下几个方面：
(1)加热分解。
经过含有硬度为成分的循环水进入的真空泵，随着泵的转动，在泵体内形成一个水环做功发热，使溶解在水中的碳酸氢盐逐渐分解，难以水析出形成水垢。
(2)溶解度降低。
盐类如SO4、CaSiO3和CaCO3具有负的溶解温度系数，随着循环，水温的升高，溶解度降低并沉淀成垢。
(3)相互反应。
在循环水中溶解度大的盐类在真空泵运行过程中与其他盐类反应生成不溶物并沉淀成垢。
(4)蒸发和浓缩。
由于循环水不断做功发热，必然会发生蒸发浓缩，使水中溶解盐的浓度不断增加，达到饱和时会形成沉淀垢。
