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为了维护滑阀真空泵，必须将泵完全拆开，并进行全面检查以测量滑阀与泵体之间的间隙(正常间隙为0.04?0.12mm);检查泵中的滑阀和导轨泵的偏心轮。如果表面有裂纹，或者表面有裂纹，请立即进行更换。更换泵中的所有密封件;对于泵的动态运行，每周可以使用振动测试仪来测试泵的振动。根据实测数据，可以初步确定轴承，滑阀等部件的磨损情况。当轴承运动的精度降低时，请更换它们，以免由于轴承磨损而使滑阀与泵腔之间发生碰撞和摩擦。对维修过的机械泵使用真空计，并进行极限压力测试，以确定泵的性能和维修效果。对于已使用很长时间的旧泵，泵之间的间隙大于0.1mm且小于0.2mm，并且最终真空要求不是很苛刻。运动粘度为150mm2/s的真空泵油也可以选择，也可以满足泵的正常运行。
由于泵室的磨损，滑阀与泵室之间的间隙大于0.2mm的泵需要与泵制造商合作。根据泵室的磨损情况，专门制作滑阀，偏心轮和导轨，使其与泵兼容。泵腔保持正常间隙;对于具有严重磨损和划痕的泵腔，疏散时间和极限压力无法满足工艺需求，维修备件的成本接近新泵价格的一半，维护价值已经丧失，并应更换新的滑阀真空泵。
