真空泵密封可能存在的问题：现象：运行中，密封有裂纹(端部裂纹)。可能原因：密封液在密封界面蒸发；加强密封面的冷却。

　　真空泵机组选用干式真空泵时，真空泵机组选用干式真空泵的方法及其要点。选择合适的干式真空泵在成本方面会节省很多费用，掌握真空泵机组匹配干式真空泵的方法也会给运行维护成本带来很多好处。下面简单介绍一下真空泵机组选用干式真空泵的方

　　1、测量爱德华干式真空泵气缸的圆度与圆柱度，依据其磨损程度承认镗缸或替换；　　2、气缸的圆度和圆柱度应契合相关规定；　　3、气缸内外表应无裂纹、砂眼、伤痕、沟槽等缺点，外表粗糙度为1.6；　　4、气缸水套不允许有裂纹或渗漏等缺点；　　5

　　干式真空泵在许多使用场合达到了理想的运用作用，作业容积中无油，更加经用，可靠。　　1、用于低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；　　2、干式真空泵用于半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；　　3

　　1.查看油式真空泵管路及结合处有无松动现象。用手翻滚油式真空泵，试看油式真空泵是否灵活。　　2.向轴承体内参加轴承润滑机油，调查油位应在油标的中间线处，润滑油应及时替换或补偿。　　3.拧下油式真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水或

　　干式无油真空泵的真空度下降是指比出厂指标或许以前使用时的真空度低，导致这种问题的原因许多：　　1、由于干式无油真空泵油形成的真空度低的情况，就是真空泵油乳化变色，或许过脏。处理办法：放干净泵内的一切真空泵油，替换同类型的真空泵油，并处理