真空工业中使用的机械真空泵大多采用油、水或其他聚合物等流体作为泵的工作介质，起到冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展和真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其抽真空系统存在两个亟待解决的问题：一是泵的工作介质回流污染了被抽容器，在