随着电子厂自动化程度越来越高，很多机器都需要真空作为设备的动力。大部份的真空度要求在--0.06MPa--0.08MPa左右。目前，大部份使用真空发生器，用空压气转换成真空气，转换效率只有50%，非常浪费电费。还增加不少空压机的维护成本。