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概述和原理:罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。二个三叶型转子与泵腔保持一定的间隙,通过一对同步反向旋转高精度齿轮使二个转子在泵腔内旋转时互相不接触并保持一定间隙。采用三叶转子罗茨真空泵比传统二叶8字型转子罗茨真空泵的抽气效率、允许压差、温升