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专业油式真空泵在维修时在以下三点中查找故障原因，并对系统进行改进：（1）检查动臂油缸的内漏情况。简单的方法是把动臂升起，看其是否有明显的自由下降。若下落明显则拆卸油缸检查，密封圈如已磨损应予更换。（2）检查操纵阀。首先清洗安全阀，检查阀芯是否磨损，如磨损应更换。安全阀安装后若仍无变化，再检查操纵阀阀芯磨损情况，其间隙使用限度一般为0．06mm,磨损严重应更换。（3）测量润滑齿轮泵的压力。若压力油式真空泵厂家偏低，则进行调整，加压力仍调不上去，则说明润滑齿轮泵严重磨损。
目前有二齿差、三齿差摆线齿轮油泵。与普通摆线泵相比，它具有流量脉动小，排量大等优点。渣油泵普通内啮合齿轮油泵和多齿差摆线泵在齿廓的构成方面非常相似，如齿廓曲线方程、设计参数的选择方面都有相似的规律。多齿差摆线啮合主要川于液压系统中的液压泵和液压马达，也可用于行星传动。润滑齿轮泵磨损的原因与排除方法，结构合理,使用维护方便.,具有运转平稳,噪声低,适合长期连续工作的特点。
润滑齿轮泵严重磨损。在低速运转时泵内泄漏严重；高速运转时，泵压力稍有提高，但由于泵的磨损及内泄，容积效率显著下降，很难达到额定压力。润滑齿轮泵长时间工作又加剧了磨损，油温升高，由此造成液压元件磨损及密封件的老化、损坏，丧失密封能力，液压油变质，后导致故障发生。液压元件选型不合理。动臂油缸规格为70／40非标准系列，密封件亦为非标准件，制造成本高且密封件更换不便。动臂油缸缸径小，势必使系统调定压力高。
导热油泵的填料因长期使用已经磨损或填料压得过松，造成大量的水从填料与泵轴轴套的间隙中喷出，其结果是外部的空气就从这些间隙进入水泵的内部，影响了提水。进水管因长期潜在水下，管壁腐蚀出现孔洞，水泵工作后水面不断下降，当这些孔洞露出水面后。与导热油泵接触的进水管的水平段逆水流方向应用0.5%以上的下降坡度，连接水泵进口的一端为高，不要完全水平。进水管弯管处出现裂痕，进水管与水泵连接处出现微小的间隙，都有可能使空气进入进水管。
啮合齿轮泵适用于输送各种轻质、挥发性液体，直至重质、粘稠液体，甚至半固态液体。广泛应用于石油、化工、油脂、涂料等行业。内啮合齿轮泵适合输送皂角，硅油，松香，涂料等等高粘度的介质，导热油泵由于内有空气导致提不上水的原因如下:导热油泵有些用户在水泵启动前未灌满足够的水；有时看上去灌的水已从放气孔溢出，导热油泵但未转动泵轴交空气完全排出，致使少许空气还残留在进水管或泵体中。
