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另一方面会使动静环的吻合面的流动膜中也含有气泡，不能形成稳定的流动膜，造成动静环的吻合面的干摩擦，使机械密封装置损坏。机械加工精度不够，原因有很多，有的是机械密封本身的加工精度不够，这方面的原因容易引起人们的注意，也容易找到。但有时是泵其它部件的加工精度不够，这方面的原因，不容易引起人们的注意。例如：泵轴、轴套、泵体、密封腔体的加大精度不够等原因。这些原因的存在对机械密封的密封效果是非常不利的。
这部分漏损量占全部内漏的50%~70%左右。磨损内漏的齿轮泵其容积效率下降，油泵输出功率大大低于输入功率。其损耗全部转变为热能，因此会引起油泵过热。若将结合平面压紧，因工作时浮动轴套会有少量运动而造成磨损，结果使压力流量下降，这样的浮动轴套必须更换或修理。不锈钢齿轮泵主要由齿轮、轴、泵体、泵盖、轴承套、轴端密封等部件组成。齿轮及轴均经严格的热处理，有较高的硬度和耐磨性，与轴一同安装在轴套内。
在装完后试抽，其真空度用热偶真空计测达82格，由曲线查得相当于8*10-3托，麦氏计测达2*10-4托以上。运转一段工夫后真空度还略有进步。此例阐明:旋片与转子的拆卸是很重要的，而转子和泵腔的上切点间隙、旋片与端盖之间的间隙，即高、低真空室双面间隙转子切点间隙是修缮和制造中的关键。即便如此，但假如拆卸不当，泵的资料太差，也是有卡死或研坏的风险的。故应在理论中以实验来决议，不能一概看待。
专业干式真空泵在维修时在以下三点中查找故障原因，并对系统进行改进：（1）检查动臂油缸的内漏情况。简单的方法是把动臂升起，看其是否有明显的自由下降。若下落明显则拆卸油缸检查，密封圈如已磨损应予更换。（2）检查操纵阀。首先清洗安全阀，检查阀芯是否磨损，如磨损应更换。安全阀安装后若仍无变化，再检查操纵阀阀芯磨损情况，其间隙使用限度一般为0．06mm,磨损严重应更换。（3）测量润滑齿轮泵的压力。若压力干式真空泵批发偏低，则进行调整，加压力仍调不上去，则说明润滑齿轮泵严重磨损。
例如，对泵的加热器和锅炉进行绝热保温，可以明显地降低热损耗。如果采用封闭式加热器，锅炉底面和加热器之间没有空气层存在，则加热功率可以很好的利用。一般的无油干式泵和油封机械泵相比，其紧缩比较小，要战胜高的压力差，向大气直接排气，还需求抽除大量的颗粒物，因此挑选有效地抽气组织是非常重要的。爪式泵油高的容积功率和内紧缩，转子可告诉无触摸的工作，是完成干式抽气较好的抽气组织，但它也需求多级串联方能到达所需的极限压力。
